多功能高分辨熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡
儀器名稱：多功能高分辨熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡
品牌: 日立
型號：SU7000
產地：日本
儀器介紹：
一.儀器特點：
1. 電磁混合透鏡，具有極高分辨能力：0.9nm@1kV；
2. 多探測器組合，可獲取材料表面凹凸和高分辨率形貌、組分、結晶、熒光等眾多信息;
3. 可在6mm分析工作距離同時進行各類探測器觀察和EDS分析，效率極高；
4. 無漏磁物鏡設計，具有大開倉設計，可拓展各類分析附件。
二.主要用途：
兼具了高分辨和分析能力的綜合型場發(fā)射掃描電鏡，可獲取材料多種高分辨信息，用于納米技術、半導體、電子器件、金屬、生命科學、新材料等領域。
